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技術(shù)論壇

Metal Etching制程廢氣由氣體變固體時(shí)，產(chǎn)生生成物的累積，造成Exhaust Piping阻塞及增加PM loading，如何改善？

對(duì)策1）：加裝Heating Jacket，避免廢氣冷凝。

對(duì)策2）：氣體管路增加Hot N2 system。